采用快速热处理的方法,提高了室温下WO3薄膜气体传感器对NO2的敏感特性。首先采用直流对靶磁控溅射的方法在Al2O3陶瓷基底上沉积纳米WO3薄膜,然后在N2∶O2=4∶1的混合气氛中,分别在500,600℃和700℃的热处理温度下对纳米WO3薄膜进行快速热处理。所得样品表面形貌用扫描电子显微镜(SEM)进行观察,晶体结构用X射线衍射仪(XRD)进行表征,在室温下检测经过不同热处理温度的样品在LED光照下的WO3薄膜气体传感器的NO2敏感性能。结果表明:经过600℃快速热处理的样品的气敏性能最好,其具有较大的比表面积,灵敏度最高,在室温下可以达到100,且具有较好的响应恢复特性,测试环境的辅助激励光源LED易与IC集成,具有降低能耗、简便实用的特点。 公司生产的AG610型快速退火炉，进行快速热处理，气氛为N2∶O2=4∶1，升温速率为20℃/s，保温时间为90s，降温时间为120s。热处理温度也是快速热处理工艺重要的参数之一，吞吐量统计-数控滚圆机电动液压滚圆机滚弧机价格低数控滚圆机多少钱为了研究快速热处理温度对样品性能的影响，现将样品分为3组(标记为S1，S2，S3)，分别在500，600，700℃中进行快速热处理，通过对比不同快速热处理温度所得样品的性能，找出最佳的快速热处理温度。测试系统主要由一个有机玻璃(PMMA)测试腔、平板加热器、数字万用表和自动数据采集系统构成，如图2。在自制气敏测试系统中，分别在100lx的LED(397nm，0．7W)光照下，通过测试各个样品的气敏性能，来找到最佳的快速热处理参数。其中，LED光的强度由光强度计(S471，UDT)测得。灵敏度由计算公式S=(Rgas－在NO2中的阻值，Rair为在空气中的阻值;响应恢复时间定义为达到稳定值90%所需的时间。图2自制气敏测试系统F结果与讨论2．1微观结构表征采用HITACHI公司的S—4800型场发射扫描电子显微镜(FESEM)观测各个样品形貌。图3是各个样品表面在1．0kV电压下放大10万倍的SEM照片，可以看到:S1的表面相对平整，结构致密，  本文由张家港市泰宇机械有限公司 张家港缩管机网站采集网络资源整理!  http://www.suoguanji.cn/无过多缝隙，薄膜颗粒开始出现一些团聚现象;S2的表面是最不平整的，这是由于热处理时薄膜晶粒获得能量产生横向迁移扩散，表面晶粒团聚现象明显，出现很多表面凹凸不平的大颗粒，并形成很多的缝隙，这些疏松的形貌增加了纳米WO3薄膜的比表面积，使其存在更多潜在的吸附位，将有利于气体在表面的吸附，提高薄膜气敏灵敏度和响应恢复速度;S3虽然也出现了颗粒团聚现象，但是其表面相对平整，表面无明显的小颗?扑的吞吐量相较于星型拓扑更优，当节点数量较多时，星型拓扑结构则有较好的吞吐量性能。其次只考虑网络负载对不同拓扑结构的网络性能影响。发送数据包的大小是影响网络负载的重要因素，通过改变发送数据包大小来改变网络负载，发送数据包的大小也采取平滑增长的方式。对3种拓扑分别建立57个场景模型，节点数量选取中小规模应用中常用的30个，仿真时间为900s。仿真结果如图3所示。发包大小/bit星型树型网状吞吐量/105bit0延时/s0.10.20.30.40.50.60.7星型树型网状(a)%延时(a)%time%delay(b)%吞吐量it图3发送数据包大小变化时的延时和吞吐量统计负载较小的时候网状与树型拓扑的延时相对较大，但此时3种拓扑结构对网络延时性能影响相差不大。随着负载逐渐加大，3种拓扑的延时均均有所增加，特别是树型和网状拓扑，其延时增长为负载较小时的数倍，星型拓扑具有最小的延时。从网络吞吐量性能来看，树型和网状拓扑的整体走势较为相似，随着发送数据包的增大，网络负载也加大，吞吐量均迅速增长。针对上述的直观性分析，可以看出:单个的性能指标并不能反映网络的整体性能。因而，下面将建立基于多指标的综合评价模型，以此来对ZigBee网络拓扑结构的性能进行综合评价。4拓扑结构性能综合评价分析利用提出的网络性能综合评价方法对Z吞吐量统计-数控滚圆机电动液压滚圆机滚弧机价格低数控滚圆机多少钱  本文由张家港市泰宇机械有限公司 张家港缩管机网站采集网络资源整理!  http://www.suoguanji.cn/